STROZA – Установка для травления полупроводниковых пластин

  • Оборудование предназначено для травления полупроводниковых пластин (с максимальным диаметром 4“) посредством смеси азотной, плавиковой и уксусной кислот.
  • Пластины после процесса травления обмываются в тройном противоточном каскаде с деионизованной водой и обсушиваются посредством воздушной обдувки при помощи плоских форсунок.
  • Ванна для травления наливается смесью азотной, плавиковой и уксусной кислот в регулируемом соотношении. Она изготавливается из материала PVDF. Ванну возможно закрыть посредством автоматической крышки.
  • Оборудование оснащено манипулятором, позволяющим полуавтоматический рабочий режим. Он находится в пространстве для травления, которое от пространства обслуживания отделяют прозрачные щиты и раздвижная дверь.
  • При помощи манипулятора обеспечивается движение зажимного устройства с пластинaми в горизонтальном и вертикальном направлениях.
  • После погружения устройства с пластинaми в химическую ванну осуществляется при помощи пневматического цилиндра вертикальное движение балки для лучшей промывки, дополненное регулируемым биением для устранения поверхностных пузырей.
  • При перемещении зажимного устройства из промывочной ванны в ванну для травления поверхность крюка обдувается напорным воздухом из четырех форсунок
  • Габариты: Длина 1200мм х Ширина 938мм х Высота 2240мм. Масса: 330 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.