SingulatorMDS-100, MDS-300

  • Установки плазменного разделения пластин на кристаллы для крупносерийного производства, обладающие серьезными преимуществами по сравнению со стандартной технологией скрайбирования для тонких и сверхтонких пластин: гладкие боковые стенки кристаллов, отсутствие боковых повреждений, повышение прочности кристаллов, ширина реза 10 мкм и менее, возможность разделения пластин толщиной менее 50 мкм, разделение непрямоугольных кристаллов (со скругленными углами, клиновидной формы и т.д.)
  • Использование стандартных в скрайбировании несущей ленты с пластиковыми или металлическими каркасами
  • Загрузка двух кассет, до 25 каркасов с пластинами в каждой
  • Непрерывный процесс для 4”, 6”, 8” пластин на 8” каркасе (MDS-100) и 12″ пластин на 12″ каркасе (MDS-300)
  • Применение ламинарного потока и антистатической оправки внутри установки для обработки изделий
  • Повышенный процент выхода годных за счет использования плазменного источника собственного изготовления
  • Скорость разделения эквивалентна 3000 мм/с при классическом скрайбировании
  • Установки применяются при изготовлении силовых полупроводниковых устройств, светодиодов, изделий для радиочастотной идентификации, инфракрасных датчиков, 3D МЭМС, приборов на основе соединений А3В5, а также изготавливаемых по КМОП-технологии

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.