SENTECH SI 500 D (ICPECVD)

  • Автоматическая установка высокоскоростного плазмохимического осаждения индуктивно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для НИОКР и пилотного производства
  • Назначение: высокоскоростное низкотемпературное осаждение диэлектриков  (SiO2, SiNx, SiONx) и a-Si, а также TEOS, SiC и других материалов из жидких и газообразных прекурсоров; возможно осаждение полупроводниковых соединений А3В5
  • Вакуумируемая алюминиевая загрузочная камера. Загрузка по одной пластине или группе пластин на носителе
  • Пластины:  ø3”, ø4”, ø6”, ø8”/200мм, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны
  • Рабочая камера: алюминиевая
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – Planar Triple Spiral Antenna ø296мм, нижний – алюминиевый с покрытием  электрод ø240мм с подложкодержателем, механический захват, гелиевое охлаждение
  • Температура подложки: (20÷350)°C   
  • Источник ИСП: (100÷1200)Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 1200Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 5 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
  • Применяемые газы: CF4, CH4, NH3, РH3, H2, SiH4, O2, Ar, Hе, N2 и прочие
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – водоохлаждаемый коррозионностойкий турбомолекулярный насос 1200 л/с и коррозионностойкий форвакуумный насос 40 м3/ч с химическим фильтром; для загрузочной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Система управления: компьютерная, с Windows Wista/7. Возможно управление через систему удаленного доступа и ручного управления
  • Определение лазером окончания процесса
  • Электроэнергия: 400В, 3ф, 32А, 50/60Гц
  • Очищенный сжатый воздух: 6 кг/см2
  • Азот: (3÷4) кг/см2, 25 л/процесс
  • Охлаждающая вода: 4 кг/см2, (6÷8) л/мин, (15÷20)°С
  • Вытяжная вентиляция: подключение к газовому шкафу – ø80мм, к насосам – DN 40 KF
  • Габариты: реакторный блок – (655x1047x1460/1600 при подъеме ICP источника) мм, стойка управления – (650x800x1200) мм, насосный модуль – (700x630x1100) мм, шкаф для основных подключений – (400x300x500) мм 
  • Вес: реакторный блок – 270 кг, стойка управления – 120 кг, насосный модуль – 150 кг, шкаф для основных подключений – 30 кг
  • Опционно: чиллер для системы охлаждения; различные варианты насосных систем; встроенный эллипсометр; для кластера – с однопластинной загрузкой либо с кассетной загрузкой

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.