SENTECH 500 C (ICP/RIE)

  • Автоматическая установка реактивно-ионного криогенного травления в индуктивно-связанной плазме с  шлюзовой загрузкой для НИОКР и пилотного производства
  • Назначение: высокоскоростное плазмо-химическое травление кремния при производстве МЭМС и микрооптики
  • Вакуумируемая алюминиевая загрузочная камера. Загрузка по одной пластине или частей пластин на носителе
  • Пластины:  ø4”, ø6”, ø8”/200мм, толщина подложки до 10мм, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны
  • Рабочая камера: алюминиевая
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – Planar Triple Spiral Antenna 200, нижний – криогенный электрод-подложкодержатель из нержавеющей стали: охлаждение гелиевое или жидким азотом; механический прижим пластины; расстояние между электродами – от 50мм
  • Температура подложки: с рециркуляционным чиллером – (-30÷200)°C, с охлаждением жидким азотом – (-150÷80)°C  
  • Источник ИСП: 1200Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 600Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: до 8 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
  • Вакуумная система: для рабочей камеры –коррозионностойкий турбомолекулярный насос 1000 л/с и коррозионностойкий форвакуумный насос с газовым фильтром; для загрузочной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Система управления: компьютерная, с Windows XP/Wista
  • Электроэнергия: 400В, 3ф, 32А, 50/60Гц
  • Очищенный сжатый воздух: 6 кг/см2
  • Азот: (4÷5) кг/см2, 25 л/процесс, процессного качества
  • Охлаждающая вода: 4 кг/см2, (8÷12) л/мин, (15÷20)°С
  • Гелий для охлаждения: 2 кг/см2, чистота 5N
  • Жидкий азот для охлаждения: 10 л/ч
  • Вытяжная вентиляция: подключение к газовому шкафу – ø80мм, к насосам – DN 25 KF
  • Габариты: реакторный блок – (660x1850x1550/1900 при подъеме ICP источника) мм, стойка управления – (650x800x1200) мм, насосный модуль – (700x630x1100) мм, шкаф для основных подключений – (400x300x500) мм, 100-литровый дьюар с жидким азотом (опционно) – (700x700x1200) мм
  • Вес: реакторный блок – 290 кг, стойка управления – 120 кг, насосный модуль – 150 кг, шкаф для основных подключений – 25 кг
  • Опционно: измерения и оповещение об окончании процесса по интерферометру; дополнительные газовые линии; кассетная станция

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.