SEMCO Tunnel Furnace

SEMCO Group предлагает туннельные печи, специально предназначенные для разработки и оптимизации тонкопленочных фотоэлектрических преобразователей – например, CIG (S, Se) халькогенидов.

Технология туннельной печи TFPV основана на инновационных и гибких программно-управляемых процессах RTP/испарения с одной подложкой, предназначенных для селенизации при атмосферном давлении, сульфирования, кристаллизации. А так же для мягкого охлаждения электроосажденных или напыленных магнетроном многослойных тонких пленок Cu-In-Ga на стекле и металлической фольге (шириной 300 мм). Управление процессами полностью автоматизированы.

  • Предназначена для разработки тонкопленочных фотоэлектрических материалов на жесткой или гибкой подложке
  • Двухкамерная конструкция для раздельного контроля испарения и термообработки
  • Автоматическая транспортировка с переменной скоростью от и до загрузочного шлюза
  • Высокоточный резистивный нагрев (модуль испарения) и галогенная лампа (RTP)
  • Система распределения газа высокой чистоты для безопасного и точного обращения с реагентами

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.