SEMCO

Технологическое оборудование:

Диффузионные, окислительные печи,

Быстрая термическая обработка

SEMCO LYDOP DIFF

  • Горизонтальная диффузионная печь пониженного давления
  • До 5 горизонтальных кварцевых труб
  • Тепловые помехи между трубами исключены
  • Обработка POCl3 и BCl3 с автоматическим пополнением от центральных систем диспетчеризации

далее


SEMCO LYDOX OXID

  • Горизонтальная печь для термического окисления с пониженным давлением
  • До 5 горизонтальных технологических кварцевых труб
  • Тепловые помехи между трубами исключены
  • Соответствует процессам сухого (In-Torch System) и мокрого (DI Water Steamer) окисления.

далее


Jipelec Jetlight ANNEAL

  • Конструкция камеры hot-wall
  • Размер до 50 мм в диаметре. и длиной 150 мм.
  • До двух (2) линий подачи газа
  • Возможность работы в атмосфере и в вакууме

далее


Jipelec Jet First RTP

  • Печь RTP обработки единичных пластин для исследовательских и мелкосерийных задач
  • Конструкция металлической камеры типа Cold-Wall
  • Высокопроизводительная технология скрещенных ламп
  • Атмосферная или вакуумная термообработка

далее


Jipelec Jet Star RTA

  • Конструкция камеры типа cold-wall для обеспечения высокой производительности
  • Размер до 300 мм в диаметре.
  • Диапазон температур до 1250 ° C со скоростью нарастания до 200 ° C /сек
  • Контролируемые газопроводы для твердых, жидких и газообразных прекурсоров.

далее


SEMCO MiniLab

  • Пакетная мультитрубная мультитехническая платформа
  • Четыре диффузионных / LPCVD трубки | Одна печь PECVD
  • 50 пластин (6-дюймов.) – диффузия
  • 25 пластин (6-дюймов- LPCVD

далее


SEMCO Tunnel Furnace

  • Предназначена для разработки тонкопленочных фотоэлектрических материалов на жесткой или гибкой подложке
  • Двухкамерная конструкция для раздельного контроля испарения и термообработки
  • Автоматическая транспортировка с переменной скоростью от и до загрузочного шлюза
  • Высокоточный резистивный нагрев (модуль испарения) и галогенная лампа (RTP

далее


SEMCO Roll-to-roll Platform

  • Программно-управляемая многопроцессорная система roll-to-roll нанесения покрытий
  • Загрузка и выгрузка на 3-х дюймовых расширяемых носителях
  • Автоматизированный конвейер от входных и выходных роликов
  • Резистивный нагрев или нагрев галогенной лампой (RTP)

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.