SEMCO Roll-to-roll Platform

SEMCO Group предлагает roll-to-roll систему осаждения следующих типов: плазменное при атмосферном давлении, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и платформу для испарения, предназначенную для осаждения тонких полупроводниковых пленок или разработки наноструктурированных материалов на непрерывный рулон гибкой металлической или полимерной фольги (размер до 300 мм ширины).

Обработка может осуществляться при атмосферном давлении или в вакууме. Оборудование легко расширяется за счет установки дополнительных модулей обработки (например, для очистки, травления, распыления, совместного испарения, распыления и т.д.). Рулонные системы SEMCO Group уже используются в самых разных областях: от гибкой бытовой электроники до тонкопленочных солнечных фотоэлектрических элементов на двухмерных и трехмерных подложках.

  • Программно-управляемая многопроцессорная система roll-to-roll нанесения покрытий
  • Загрузка и выгрузка на 3-х дюймовых расширяемых носителях
  • Автоматизированный конвейер от входных и выходных роликов
  • Резистивный нагрев или нагрев галогенной лампой (RTP)
  • Высокочистая газовая система (любой тип прекурсора)
  • Модульная конструкция для легкой установки и запуска.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.