SEMCO MiniLab

Надежная и универсальная многофункциональная платформа с выдающимися характеристиками и простотой эксплуатации исследовательских задач в областях процессов диффузии, окисления, отжига, LPCVD и PECVD, применяемых в фотоэлектрической промышленности, микроэлектронике и MEMS.

SEMCO MINILAB разработана для удовлетворения потребностей исследовательских центров и экспериментальных производств. Сочетание универсальности, высокой производительности и работы профессионального уровня делает MINILAB идеальным выбором для технологического проектирования и квалификации в любой многопользовательской лаборатории. Его уникальная конструкция «4 + 1» позволяет комбинировать не более четырех горизонтальных трубчатых печей LPCVD и одной вертикальной прямой камеры PECVD на небольшой площади. Интеллектуальная архитектура MINILAB упрощает добавление, обновление и замену модулей обработки и компонентов.

  • Пакетная мультитрубная мультитехническая платформа
  • Четыре диффузионных / LPCVD трубки | Одна печь PECVD
  • 50 пластин (6-дюймов.) – диффузия
  • 25 пластин (6-дюймов- LPCVD
  • 10 пластин (6-дюймов- PECVD
  • Ручная загрузка с боксом ламинарного потока
  • Идеально подходит для технологического проектирования и апробации в PV.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.