SEMCO LYDOX OXID

  • Горизонтальная печь для термического окисления с пониженным давлением
  • До 5 горизонтальных технологических кварцевых труб
  • Тепловые помехи между трубами исключены
  • Соответствует процессам сухого (In-Torch System) и мокрого (DI Water Steamer) окисления.
  • Обработка Trans-LC / DCE с автоматическим пополнением от центральной диспетчерской системы
  • Полностью автоматизированная транспортировка пластин от кассет или линейного конвейера к трубам и обратно
  • Непревзойденная пропускная способность – до 1400 пластин на трубу при back-to-back загрузке.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.