SEMCO LYDOP DIFF

  • Горизонтальная диффузионная печь пониженного давления
  • До 5 горизонтальных кварцевых труб
  • Тепловые помехи между трубами исключены
  • Обработка POCl3 и BCl3 с автоматическим пополнением от центральных систем диспетчеризации
  • Более низкое потребление технологических газов и прекурсоров по сравнению с аналогичными установками
  • Полностью автоматизированная транспортировка пластин от кассет или линейного конвейера к технологическим трубам и обратно
  • Непревзойденная пропускная способность – до 1400 пластин на трубу при back-to-back загрузке.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.