SAMCO RIE-800iPB (ICP)

  • Автоматическая установка высокоскоростного глубокого травления кремния индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для НИОКР и пилотного производства
  • Назначение: производство МЭМС (акселерометров, гироскопов, актюаторов и пр.); создание переходных отверстий в кремнии при производстве 3D-интегрированных структур (травление отверстий в пластинах глубиной до 600 мкм); производство датчиков; возможность проведения Бош-процессов; резка кремниевых пластин на чипы; производство головок струйных принтеров; производство медицинских приборов (системы полного микроанализа и пр.) 
  • Рабочая камера: из алюминия, внутренний ø440мм
  • Загрузочная камера: алюминиевая, (340х445)мм . Загрузка пластин ручная
  • Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
  • Пластины:  до ø8”, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны 
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – High-density ICP Plasma, нижний –электрод с подложкодержателем
  • Подложкодержатель: ø208мм, алюминиевый,  электростатический захват, гелиевое охлаждение
  • Источник ИСП: 3000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 500Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 6 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
  • Применяемые газы: CHF3, C4F8, CF4, SF6, O2, Ar, Hе, N2  и прочие
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос и безмасляный форвакуумный насос, автоматическое управление давлением; для загрузочной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Контроль вакуума: в рабочей камере – ионизационый вакуумметр (13÷10-6) Па; мембранный вакуумметр (33,3÷33,3х10-3) Па; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр (1х105÷1х10-2) Па
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 60А
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Азот: на установку – 1 кг/см2, на безмасляные насосы – (2÷10) кг/см2
  • Охлаждающая вода: установка – 8 л/мин, насосы – 2 х 3 л/мин
  • Вытяжная вентиляция от  насосов
  • Габариты: (1000x1700x1800) мм
  • Опционно: система оповещения окончания процесса по интерферометру; комплект оснастки для обработки пластин различных размеров; вентиляция из газового шкафа; система подачи импульсов для предотвращения образования бороздок на поверхности при травлении структур «кремний на изоляторе»; комплект оснастки для травления SiO2

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.