SAMCO RIE-400iPB (ICP)

  • Автоматическая установка высокоскоростного глубокого травления кремния индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для НИОКР
  • Назначение: производство МЭМС (акселерометров, гироскопов, актюаторов и пр.); производство головок струйных принтеров; создание переходных отверстий в кремнии при производстве 3D-интегрированных структур (травление отверстий в пластинах глубиной до 600 мкм); производство медицинских приборов (системы полного микроанализа и пр.); возможность проведения Бош-процессов 
  • Рабочая камера: из алюминия, внутренний ø320мм
  • Загрузочная камера: алюминиевая, (340х445х144)мм. Загрузка пластин ручная
  • Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
  • Пластины:  до ø4”, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны 
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – High-density ICP Plasma Source, нижний –электрод с подложкодержателем
  • Подложкодержатель: ø106мм, алюминиевый,  электростатический захват, гелиевое охлаждение
  • Источник ИСП: 1000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 4 газовые линии с РРГ, продувочный азот, гелий
  • Применяемые газы: CHF3, C4F8, SF6, O2, Ar, Hе, N2 и прочие
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос 1300л/сек и безмасляный форвакуумный насос 1300л/мин; для загрузочной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Контроль вакуума: в рабочей камере – мембранный вакуумметр (1, 33х102÷1,33х10-2) Па; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр (атмосфера÷1х10-2) Па
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных.
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 75А
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Азот: на установку – 1 кг/см2, на насосы – (1÷7) кг/см2
  • Охлаждающая вода: установка – 2 л/мин, насосы – (4÷8) л/мин
  • Вытяжная вентиляция: от корпуса установки, газового шкафа, насосов
  • Габариты: (986x1790x1975) мм
  • Опционно: дополнительные газовые линии, система оповещения окончания процесса по интерферометру; циркуляционная система для охлаждения турбомолекулярного и безмасляного насосов; комплект оснастки для травления SiO2

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.