SAMCO RIE-400iP (ICP)

  • Автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для производства, анализа отказов ИС
  • Назначение: производство лазерных диодов; травление GaAs, GaN, InP; формирование полосы лазерных диодов; производство фотонно-кристаллических приборов; производство точечных квантовых приборов; высокоравномерное травление полупроводниковых и диэлектрических пленок; травление органических покрытий
  • Опертивное управление температурой стенок рабочей камеры и подложкодержателя
  • Загрузочная камера: алюминиевая, с ручнам открытием/закрытием камеры загрузки. Позволяет использовать хлорсодержащие реагенты
  • Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
  • Одиночные пластины до ø4” и более мелкие подложки
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – Tornado Coil Electrode, нижний – с жидкостным охлаждением. Механический или электростатический держатель пластины
  • Температура подложкодержателя: (-10÷250)°C   
  • Источник ИСП: 1000Вт (Tornado ICP Coil) 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 300/600/1000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Применяемые газы: фтор- и хлорсодержащие, инертные
  • Вакуумная система: – турбомолекулярный насос и роторный форвакуумный насос
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса
  • Опционно: до 8 газовых линий, система оповещения окончания процесса по интерферометру

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.