SAMCO RIE-330iPC (ICP)

  • Автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с кассетной загрузкой для массовое производства
  • Назначение: анизотропное травление всех видов полупроводниковых, изолирующих и металлических пленок; массовое производство светодиодов; травление GaN; травление сапфира
  • Рабочая камера: (650х650)мм из алюминия с контролируемой температурой стенок и подложки
  • Загрузочная камера: алюминиевая, (720х720)мм. Позволяет использовать хлорсодержащие и фторсодержащие реагенты
  • Кассетная камера
  • Перемещение пластин: вакуумные робот с многошарнирным манипулятором транспортировки пластин и робот-перегрузчик
  • Пластины: ø2” – до 27шт., ø2,5” – до 17шт., ø3” – до 12шт., ø4” – до 7шт., ø6” – до 3шт. в одной загрузке
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – SST Coil ICP electrode. Механический или электростатический держатель пластины
  • Подложкодержатель ø330мм, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны
  • Температура подложкодержателя: (-10÷250)°C   
  • Источник ИСП: 1000Вт (SSTC Coil), 13,56МГц. Источника смещения – 1000Вт, 13,56МГц
  • Газовая система: 5 газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: Cl2, BCl3, CHF3, Ar, Nи прочие
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос и безмасляный форвакуумный насос; для загрузочной камеры – турбомолекулярный насос  и безмасляный форвакуумный насос; для кассетной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Контроль вакуума: в рабочей камере – мембранный вакуумметр, ионизационый вакуумметр; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр, ионизационый вакуумметр; в кассетной камере – кристаллический вакуумметр
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 100А
  • Охлаждающая вода: 2 х 10 л/мин
  • Вентиляция для подключения роторных насосов и корпуса установки
  • Габариты: установка – (1470x2600x2320) мм
  • Окончание процесса: визуально/по интерферометру
  • Опционно: до 8 газовых линий, система оповещения окончания процесса

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.