SAMCO RIE-300NR

  • Высокоэффективная, высокоточная полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления  с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: вскрытие пассивирующих материалов, включая нитрид кремния, диоксид кремния; высокоселективное анизотропное травление всех типов кремнесодержащих пленок, полупроводниковых соединений и тугоплавких металлов, включая Si, SiO2, поликремний, Si3N4, GaAs и Mo; микромеханическое производство; удаление материалов на интегральных схемах для анализа отказов; травление органических материалов 
  • Рабочая камера: алюминиевая
  • Загрузка ручная, открытая
  • Пластины:  ø75мм – 12шт, ø100мм – 8шт., ø150мм – 3шт., ø300мм – 1шт.
  • Электроды: верхний алюминиевый электрод с распылителем газа, нижний алюминиевый электрод-подложкодержатель с жидкостным охлаждением
  • ВЧ-генератор: до 1000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: до 6 газовые линии процессных газов с РРГ 
  • Вакуумная система: турбонасос и роторный форвакуумный насос; четырехпоточная система вакуумирования
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Габариты: установка – (850x1680x1913) мм, насосный блок – (590x170x230) мм
  • Окончание процесса: по оптическому интерферометру

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.