SAMCO RIE-200NL

  • Полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления с загрузочным блоком для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: высококачественное анизотропное травление кремниевых пленок для приборов ультравысокой степени интеграции; травление различных металлических пленок; полупроводниковых соединений (GaAs, GaN, InP, пр.), Si, SiO2, поликремния, SiNх ; производство волноводных устройств; микромеханическое производство; 
  • Рабочая камера: алюминиевая, ø440мм, с антикоррозионным покрытием; смотровое окно ø40мм для визуального контроля
  • Загрузочный шлюз: алюминиевый, (500х535х230)мм; одно смотровое окно ø204мм; крышка камеры открывается и закрывается автоматически
  • Перемещение пластин: линейным автоматическим манипулятором
  • Пластины:  ø3” – 5шт, ø4” – 3шт., ø8” – 1шт.
  • Электроды: верхний – алюминиевый с антикоррозионным покрытием электрод ø240мм с распылителем газа, нижний – из нержавеющей стали с антикоррозионным покрытием электрод-подложкодержатель ø240мм  и жидкостным охлаждением; фиксированный зазор между электродами
  • ВЧ-генератор: 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 3 газовые линии процессных газов с РРГ давлением 1 кг/см2, продувочный азот с давлением 1 кг/см2 и расходом 40 л/мин 
  • Применяемые газы: CF4, CHF3, SF6, O2, Ar, N2
  • Вакуумная система: турбонасос 200л/сек и роторный форвакуумный насос 250л/мин.
  • Контроль вакуума: в рабочей камере – мембранный вакуумметр (2,66х102÷2,66х10-2) Па, полнофункциональный вакуумметр (13,3÷1,33*10-6) Па; в загрузочной камере – вакуумметр Pirani (1,3х104÷1,3х10-1) Па, атмосферный датчик давления
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Электроэнергия: 380В, 3ф
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Охлаждающая вода: давление – (1÷2) кг/см2
  • Габариты: установка – (546x1533x1580) мм, насосный блок – (540x540x520) мм
  • Окончание процесса: по оптическому интерферометру
  • Опционно: до 6 дополнительных газовых линий, система оповещения окончания процесса, скруббер для очистки выхлопного газа, вакумные насосы

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.