SAMCO RIE-200C

  • Полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления с кассетным загрузчным блоком для серийного производства
  • Назначение: высококачественное анизотропное травление кремниевых пленок для приборов ультравысокой степени интеграции, а также всех прочих типов кремниевых пленок; травление пленок тугоплавких металлов; травление органических покрытий, озоление фоторезиста и формирование контактных окон; производство оптических волноводов; микромеханическое производство; производство различных типов датчиков; производство приборов на базе подложки кристалла
  • Рабочая камера: алюминиевая; смотровое окно ø40мм для визуального контроля
  • Загрузочный шлюз: одно или двухкассетный, алюминиевый
  • Перемещение пластин: двухманипуляторный атмосферный робот с вакуумным захватом и системой позиционирования
  • Пластины:  ø5”, ø6”, ø8”
  • Электроды: верхний – алюминиевый с антикоррозионным покрытием электрод ø240мм с распылителем газа, нижний – из нержавеющей стали с антикоррозионным покрытием электрод-подложкодержатель ø240мм  и с жидкостным охлаждением; фиксированный зазор между электродами
  • ВЧ-генератор: 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 3 газовые линии процессных газов с РРГ давлением 1 кг/см2, продувочный азот с давлением 1 кг/см2
  • Применяемые газы: CF4, CHF3, SF6, O2, Ar, N2
  • Вакуумная система: турбонасос 200л/сек и роторный форвакуумный насос 250л/мин
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Электроэнергия: 200В, 3ф
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Охлаждающая вода: давление – (3÷5) кг/см2
  • Габариты: (750x1770x1600) мм
  • Окончание процесса: по оптическому интерферометру
  • Опционно: до 6 дополнительных газовых линий, система оповещения окончания процесса, скруббер для очистки выхлопного газа, вакумные насосы

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.