SAMCO RIE-1C

  • Лабораторная полуавтоматическая настольная установка реактивно-ионного травления  с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: вскрытие пассивирующих материалов, включая нитрид кремния, диоксид кремния, оксинитрид кремния; травление диэлектрика между слоями металла с контролем профиля; удаление остатков герметизирующих материалов на интегральных схемах для анализа отказов; вскрытие фоторезиста и полиимида; травление кремния, поликремния, тугоплавких металлов, силицидов металлов, нанесенного центрифугированием стекла и пр.
  • Рабочая камера: ø210мм х 62мм, кварц
  • Загрузка ручная, открытая
  • Подложки:  пластины до 4” – 1ш. или несколько образцов или корпусированные приборы, опционно – пластина 6”
  • Электроды: верхний алюминиевый электрод ø140мм с распылителем газа, нижний алюминиевый электрод-подложкодержатель ø120мм с жидкостным охлаждением
  • Обработка по одной пластине или нескольких образцов или корпусированных приборов
  • ВЧ-генератор: 200Вт, 13,56МГц
  • Газовая система: 2 газовые линии процессных газов с давлением 1 кг/см2, продувочный азот с давлением 1 кг/см2 и расходом 10 л/мин 
  • Применяемые газы: CF4, O2, N2
  • Вакуумная система: роторный насос 250л/мин, одна точка подключения с выхлопным патрубком для роторного насоса NW25, вакуумметр Pirani (10-3÷10) Торр
  • Система управления: Запуск процесса «одной кнопкой» после установки программы процесса – включается насос установки, начинается подача газа, включается ВЧ-генератор и вентиляция реактора, срабатывает замок крышки реактора для обеспечения безопасности персонала и защиты установки
  • Вытяжная вентиляция: для выхлопа форвакуумного насоса (от рабочей камеры) для обеспечения безопасности персонала  
  • Электроэнергия: 220В, 50Гц, 3кВт
  • Охлаждающая вода: давление – (2÷3) кг/см2, расход – (1÷2) л/мин
  • Габариты: установка – (400x440x325) мм, насосный блок – (430x620x800) мм
  • Опционно: различные ВЧ-генераторы и вакумные насосы

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.