SAMCO RIE-10NR

  • Недорогая, высокоэффективная полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления  с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: вскрытие пассивирующих материалов, включая нитрид кремния, диоксид кремния, оксинитрид кремния; высокоселективное анизотропное травление всех типов кремнесодержащих пленок, полупроводниковых соединений и тугоплавких металлов, включая Si, SiO2, поликремний, Si3N4, GaAs и Mo; микромеханическое производство; удаление остатков герметизирующих материалов на интегральных схемах для анализа отказов; травление органических материалов 
  • Рабочая камера: алюминиевая, ø340мм; 2 смотровых окна ø40мм для визуального контроля
  • Загрузка ручная, открытая
  • Подложки:  пластины до 8” или несколько образцов или корпусированных приборов
  • Электроды: верхний алюминиевый электрод ø240мм с распылителем газа, нижний алюминиевый электрод-подложкодержатель ø250мм с кварцевым покрытием против напылния ø8” и жидкостным охлаждением; зазор между электродами – 55мм
  • Обработка по одной пластине или нескольких образцов или корпусированных приборов
  • ВЧ-генератор: 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 2 газовые линии процессных газов с РРГ давлением 1 кг/см2, продувочный азот с давлением 1 кг/см2 и расходом 12 л/мин 
  • Применяемые газы: CF4, CHF3, SF6, O2, Ar/N2, N2
  • Вакуумная система: турбонасос 200л/сек и роторный форвакуумный насос 250л/мин, выхлопной патрубок для резервного насоса NW25, широкодиапазонный вакуумметр (105÷5х10-7) Па, емкостной вакуумметр (2,66×102÷2,66×10-2)Па
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 20А
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Охлаждающая вода: давление – (3÷5) кг/см2, расход – (2÷3) л/мин
  • Габариты: установка – (500x920x1510) мм, насосный блок – (522x163x216) мм
  • Окончание процесса: по оптическому интерферометру
  • Опционно: до 6 дополнительных газовых линий, система оповещения окончания процесса, скруббер для очистки выхлопного газа, вакумные насосы

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.