SAMCO RIE-10iP (ICP)

  • Полностью автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: анизотропное травление SiO2, Si3N4; травление органических материалов  и диэлектриков
  • Загрузка ручная, открытая
  • Подложки:  пластины до 4” или несколько образцов или приборов
  • Подложкодержатель с жидкостным охлаждением и поддержанием температуры (20÷250)°С
  • Механический зажим с гелиевым охлаждением обратной стороны
  • Источник ИСП: до 1000Вт, 13,56МГц, тип – Tornado ICP, с автоматическим согласованием сопротивления. Мощность источника смещения – до 300Вт
  • Рабочее давление: 10-5 Па
  • Газовая система: встроенный шкаф подачи газа, до 6 газовых линий
  • Применяемые газы: CF4, CHF3, C4F8, SF6, O2, Ar, N2
  • Вакуумная система с симметричным вакуумированием: турбомолекулярный насос и роторный форвакуумный насос
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручного управления
  • Окончание процесса: визуально, либо по оптическому интерферометру

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.