SAMCO RIE-101iPH (ICP)

  • Полностью автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для НИОКР и анализа отказов ИС
  • Назначение: анизотропное травление кремниевых пленок; травление металлических пленок, полупроводниковых соединений (GaAs, GaN, InP, пр.); производство волноводных устройств; высокоскоростное травление Al2O3, SiO2 
  • Рабочая камера: из нержавеющей стали, ø309,5мм; смотровое окно ø40мм для визуального контроля; 9 дополнительных отверстий (портов) для подключения аналитического оборудования
  • Загрузочная камера: алюминиевая, (451х308х146)мм
  • Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
  • Пластины:  ø4”
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – Tornado Coil Electrode, нижний – из нержавеющей стали электрод-подложкодержатель ø106мм  и жидкостным охлаждением;
  • Температура подложкодержателя: (-10÷250)°C   
  • Источник ИСП: 1000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: 4 газовые линии с РРГ давлением 1 кг/см2, продувочный азот с давлением 1 кг/см2 для камер и (0,5÷1) кг/см2 для роторных насосов 
  • Применяемые газы: CF4, CHF3, SF6, CH4, NH3, O2, Ar, N2, Cl2, BCl3, SiCl4, Xe
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос 800л/сек и роторный форвакуумный насос 413л/мин; для загрузочной камеры – роторный форвакуумный насос 413л/мин
  • Контроль вакуума: в рабочей камере – мембранный вакуумметр (1,33÷1,6х10-2) Па, ионизационый вакуумметр (1,3х10-1÷1х10-5) Па; в загрузочной камере – вакуумметр Pirani (4х10-1÷3х10-3) Па
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение 100 10-ти шаговых технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления. Предохранительные блокировки для безопасной работы персонала
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 60А
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Охлаждающая вода: на электрод – 2 л/мин, на камеру – 5 л/мин
  • Вентиляция из корпуса установки и газового шкафа; два патрубка NW25 для подключения двух роторных насосов
  • Габариты: установка – (1130x1220x1750) мм, насосный блок – (480x880x520) мм
  • Окончание процесса: по оптическому интерферометру
  • Опционно: до 8 дополнительных газовых линий, источник смещения – 500Вт, безмасляный насос

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.