SAMCO PD-270STP (PECVD)

  • Автоматическая установка катодного плазмо-активированного химического осаждения пленок с открытой загрузкой для НИОКР
  • Применяются жидкостные источники реагентов (TEOS) и низкотемпературные процессы для обеспечения высокой скорости осаждения
  • Сильное электрическое поле вокруг подложкодержателя с катодной связью генерирует ионы с высоким уровнем энергии, обеспечивающими осаждение пленок SiO2 с низким остаточным напряжением и предельной толщиной пленки порядка 30 мкм 
  • Назначение: высокоскоростное (3000÷5000 Å/мин) осаждение толстых пленок: оксидов кремния (до 30 мкм); производство световодов; производство масок для травления для микромеханики; осаждение пленок на пластиковые поверхности; низкотемпературное осаждение (от температуры окружающего воздуха до 300°C)
  • Загрузка ручная, открытая: пластины до 8”
  • Подложкодержатель: 200 мм
  • Обработка по одной пластине или групповая
  • Температура подложкодержателя: (20÷400)°C   
  • Мощность ВЧ-генератора – 300Вт/1кВт
  • Газовая система: до 4 газовых линий и модуль подачи жидкого реагента
  • Вакуумная система: механический бустерный насос и роторный насос
  • Система управления: с сенсорного компьютеризированного дисплея.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Вытяжная вентиляция: для выхлопа форвакуумного насоса (от рабочей камеры) для обеспечения безопасности персонала
  • Габариты: установка – (1370x1800x2000) мм, блок подачи жидкого реагента – (1370x563x2000) мм, насос – (761x708x946) мм
  • Окончание процесса: оптическое определение момента завершения процесса

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.