SAMCO PD-220LC (PECVD)

  • Установка анодного плазмо-активированного химического осаждения пассивирующих слоев и межслоевых диэлектриков на полупроводниковые соединения для крупносерийного производства с кассетной загрузкой
  • Назначение: осаждение кремнесодержащих тонких пленок: оксидов кремния (SiOx), нитридов кремния (SixNy), оксинитридов кремния (SiOxNy), гидрогенизированного аморфного кремния (a-Si:H)
  • Загрузка: пластины ø2″ – 8шт., ø3″ – 5шт., ø4″ – 3шт., ø8″ – 1шт.
  • Конструкция рабочей камеры минимизирует выделение частиц и предусматривает возможность нагрева стенок
  • Рабочая камера: внутреннй ø340мм, материал – алюминий; два смотровых окошка ø40мм; подложкодержатель ø260мм из алюминиевого сплава (эффективная зона ø220мм); контур охлаждение камеры ø335мм из алюминия
  • Камера перемещения: 520мм х 520мм из нержавеющей стали; одно смотровое окошко ø110мм сверху, три смотровых окошка ø60мм по бокам; роботизированный механизм перемещения с высокоподвижным манипулятором
  • Кассетная камера: 500мм х 535мм х 230мм из алюминия; автоматизированный перенос подложек
  • Кассета заполняется пластинами вручную
  • Электроды: размещены параллельно, зазор между электродами – 25мм. Верхний электрод – ø277мм, алюминий. Нижний электрод – ø260мм из алюминия
  • ВЧ-Генератор: 300Вт, 13,56 МГц , кварцевый генератор. Автоматическое согласование нагрузок
  • Газовая система, 7 линий: три линии процессных газов с цифровыми РРГ, одна резервная линия с цифровыми РРГ, три линии чистящих газов с цифровыми РРГ
  • Вакуумная система: рабочая камера – турбомолекулярный насос 800л/сек, химстойкий безмасляный насос 1200л/мин; камеры перемещения/кассетная/охлаждения – турбомолекулярный насос 310л/сек, химстойкий безмасляный насос 1200л/мин
  • Мановакууметры: рабочей камеры – ионизационный манометр (1,33х10-1 ÷ 1,0х10-6) Па; камера перемещения – ионизационный манометр (атмосфера ÷ 1,0х10-8 Па); кассетная камера – кварцевый манометр (атмосфера ÷ 1,0х10-2 Па); камера охлаждения – кварцевый манометр (атмосфера ÷ 1,0х10-2 Па)
  • Система управления: сенсорный компьютеризированный дисплей обеспечивает удобное управление и контроль параметров, а также наличие библиотеки режимов для автоматического управления технологическим процессом
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 100А
  • Процессные и чистящие газы: давление – 0,1 МПа
  • Осушенный азот: давление – 0,1 МПа, расход – 20 л/мин
  • Сжатый воздух: давление (0,5÷0,7) МПа
  • Охлаждающая вода: давление – (0,2÷0,3) МПа, расход – 6 л/мин
  • Габариты: установки – (1250x2000x1912) мм, безмасляных насосов – (400x500x700) мм
  • Опционно: автономный загрузчик пластин – пластины укладываются в кассету отдельным устройством либо совмещенный с основной установкой кассетоукладчик

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.