SAMCO PD-100ST (PECVD)

  • Автоматическая установка катодного плазмо-активированного химического осаждения пленок с открытой загрузкой для НИОКР
  • Применяются жидкостные источники реагентов (TEOS) и низкотемпературные процессы для обеспечения высокой скорости осаждения
  • Сильное электрическое поле вокруг подложкодержателя с катодной связью генерирует ионы с высоким уровнем энергии, обеспечивающими осаждение пленок SiO2 с низким остаточным напряжением и предельной толщиной пленки до 50 мкм 
  • Назначение: для организации переходных отверстий в кремнии и 3D-упаковки; высококонформные пленки для МЭМС; высокоскоростное осаждение толстых пленок: оксидов кремния (до 30 мкм); производство световодов; производство масок для травления для микромеханики; осаждение пленок на пластиковые поверхности; низкотемпературное осаждение (от температуры окружающего воздуха до 300°C)
  • Загрузка ручная, открытая
  • Подложкодержатель: 100 мм
  • Обработка по одной пластине или групповая
  • Температура подложкодержателя: (20÷400)°C   
  • Мощность ВЧ-генератора – 300Вт
  • Газовая система: до 4 газовых линий и модуль подачи жидкого реагента
  • Вакуумная система: механический бустерный насос и роторный насос
  • Система управления: с сенсорного компьютеризированного дисплея
  • Вытяжная вентиляция: для выхлопа форвакуумного насоса (от рабочей камеры) для обеспечения безопасности персонала
  • Габариты: (1340x1625x1865) мм
  • Окончание процесса: оптическое определение момента завершения процесса

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.