SAMCO PC-5000(PE)

  • Автоматическая установка прямой плазменной очистки с большой рабочей камерой для НИОКР и производства
  • Назначение: очистка крупноразмерных подложек или партий небольших изделий; очистка поверхности пластиковых корпусов и выводных рамок;  очистка поверхности стеклянных подложек; прецезионная очистка оптических компонентов и матриц; озоление фоторезиста; очистка поверхности органических пленок; удаление органических загрязнений
  • Подложки: до (80х250) мм или (500х500) мм
  • Ручная или кассетная загрузка
  • Источник ВЧ: до 600/1000/3000Вт, 13,56МГц
  • Газовая система: до 4 газовых линии с РРГ, продувочный азот
  • Применяемые газы: CF4, O2, Ar, N2 и прочие
  • Вакуумная система: форвакуумный насос
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение до 100 технологических программ, протоколирование данных. Возможность ручного управления
  • Электроэнергия: 3ф
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Азот: на установку и на безмасляные насосы
  • Вытяжная вентиляция от  насоса
  • Опционно: система загрузки/разгрузки кассет

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.