SAMCO PC-300(RIE/PE)

  • Автоматическая настольная установка плазменной очистки (реативно-ионное/плазменное травление) с  ручной загрузкой для НИОКР и производства
  • Назначение: плазменная очистка и обработка поверхности стекла, металлов, полимеров, полупроводников, керамики и пр.; очистка поверхности пластиковых корпусов и выводных рамок; прецезионная очистка оптических компонентов и матриц; обработка поверхности органических пленок; озоление фоторезиста; удаление органических загрязнений; улучшение адгезии
  • Рабочая камера: из нержавеющей стали, (382x356x209) мм. Смотровое окошко ø66 мм. Ручное открытие/закрытие камеры
  • Пластины:  ø2” – до 18шт., ø4” – до 6шт. на одном лотке, максимум – 2 лотка
  • Электроды: алюминиевые, параллельные, (320×230) мм. Зазор между электродами регулируется
  • Возможные режимы обработки: RIE, PE или режим нисходящего потока RIE-режим – однополочный процесс, двухполочный – опционно PE-режим – только однополочный процесс, двухполочный – невозможен 
  • Источник ВЧ: 300Вт, 13,56МГц
  • Газовая система: 1 газовая линия с РРГ с давлением 1 кг/см2, продувочный азот
  • Применяемые газы: O2, Ar, N2
  • Вакуумная система: роторный масляный насос, 400 л/мин
  • Контроль вакуума: мановакуумметр Пирани (1х105÷5х10-2) Па
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение до 100 технологических программ, протоколирование данных. Возможность ручного управления
  • Электроэнергия: 200В, 3ф, 15А
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Азот: на установку – 1 кг/см2, 30 ст.л./мин; на безмасляные насосы – (0,5÷1) кг/см2, 5ст.л./мин
  • Вытяжная вентиляция от  насоса, патрубок NW 25×1
  • Габариты: установка – (500x690x600) мм, тумба – (500x571x792) мм; вакуумный насос – (170x241x586) мм (габариты насоса могут изменяться в зависимости от модели)
  • Опционно: безмасляный форвакуумный насос; дополнительная газовая линия с РРГ

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.