Pinnacle

  • Установки ионнолучевого травления и осаждения представляют из себя однокамерные модули с реакторами ионнолучевого травления или осаждения, объединяющие в одном кластере от одного до трех модулей травления, осаждения или комбинации модулей травления и осаждения
  • Высокая производительность за счет ионных источников большой площади и усовершенствованной системы перемещения
  • Квалифицированы для применения в 200-мм производстве. Предназначена для обработки 200-мм пластин, 150-мм пластин и 9,5” ячеек, может модифицироваться для обработки 300-мм пластин
  • Карусельное устройство позволяет закрепить до 6 мишеней
  • Скорость затвора – 0,7 секунды
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.