Pico

  • Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
  • Вакуумируемая камера объемом от 4 до 15 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 150 мм и длиной 320 или 600 мм с крышкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 160 х 325 (или 600) х 160 мм с открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из алюминия диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой

  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод
  • Управление, варианты : полуавтоматическое; компьютерное (на базе Windows CE); компьютерное (на базе Windows POS Ready 2009)
  • Подвод технологического газа через игольчатые клапаны (полуавтоматическое управление) или контроллеры массового расхода (компьютерное управление)
  • Устройство загрузки (опционно – с водяным охлаждением): лодочка из кварцевого стекла; вращающийся роторный барабан для сыпучих материалов; вращающийся роторный барабан для подложек; поддоны из алюминия, нержавеющей стали, боросиликатного стекла, кварцевого стекла
  • Источники плазмы: от 0 до 200Вт либо от 0 до 1000Вт, 40 кГц; от 0 до 50Вт либо от 0 до 100Вт либо от 0 до 300Вт, 13,56  МГц; от 0 до 300Вт, 2,45  ГГц
  • Форвакуумный безмасляный насос с различной производительностью в зависимости от версии установки (при необходимости укомплектовывается  фильтром с активированным углем)
  • Электропитание: 230 В – для настольного варианта; 400В, 3ф – для напольного варианта 
  • Габариты: 550 х 330 х 500 мм (для примера – один из вариантов)
  • Дополнительные опции по запросу: комплекты запасных частей, приборы для измерения давления, модификация для работы с коррозионными газами, газовые баллоны, редуктор давления, нагреваемая плита, система температурного контроля, нагреваемая камера, камера Фарадея, принадлежности для плазменной полимеризации, тестовые чернила, кислородный генератор, медленная вентиляция, медленная откачка, держатель ПЭМ-образца, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение.

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.