Diener electronic GmbH+Co.KG

Diener electronic Yocto III

  • Установка плазменной активации / очистки поверхности для НИОКР и лабораторий
  • Вакуумируемая камера из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 50 мм и длиной 150 мм
  • Ручное управление
  • Одна пара электродов за пределами вакуумной камеры

далее


Diener electronic Femto

  • Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
  • Вакуумируемая камера объемом от 1,9 до 6 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 100 мм и длиной 278 или 600 мм с крышкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 103 х 285 х 103 мм с открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из алюминия диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее


Diener electronic Zepto

  • Лабораторная плазменная установка для мелкосерийного производства, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Цилиндрическая вакуумируемая камера объемом от 1,7 до 2,6 литра в зависимости от варианта (с крышкой):

– из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 105 мм и длиной 200 или 300 мм;

– из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 105 мм и длиной 200 или 300 мм

  • Одно- или многоуровневые электроды
  • Управление, варианты : ручное; компьютерное (на базе Windows CE); компьютерное (на базе Windows POS Ready 2009);

далее


Diener electronic Pico

  • Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
  • Вакуумируемая камера объемом от 4 до 15 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 150 мм и длиной 320 или 600 мм с крышкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 160 х 325 (или 600) х 160 мм с открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из алюминия диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой

  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее


Diener electronic Atto

  • Лабораторная плазменная установка для мелкосерийного производства, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
  • Цилиндрическая вакуумируемая камера объемом 10,5 литра (с крышкой) из стекла диаметром 211 мм и длиной 300 мм;
  • Одно- или многоуровневые электроды

далее


Diener electronic Nano

  • Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
  • Вакуумируемая камера объемом от 18 до 36 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 267 мм и длиной 420 или 600 мм с крышкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 240 х 420 (или 600) х 240 мм с открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из алюминия диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

– цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой

  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее


Diener electronic Tetra 30 PC/PCCE

  • Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка
  • Вакуумируемая прямоугольная камера из нержавеющей стали объемом от 34 до 57 литров в зависимости от варианта и размерами 305 х 370 (или 625) х 300 мм с открывающейся дверкой;
  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее


Diener electronic Tetra 100 PC/PCCE

  • Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка
  • Вакуумируемая камера объемом от 80 до 100 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 400 мм и длиной 625 мм с открывающейся дверкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 400 х 625 х 400 мм с открывающейся дверкой;

  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее


Diener electronic Tetra 150 PC/PCCE

  • Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка
  • Вакуумируемая прямоугольная камера из нержавеющей стали объемом 150 литров и размерами 400 х 625 х 600 мм с открывающейся дверкой
  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее


Diener electronic Tetra 15 LF-PC

  • Специальная плазменная установка для распыления (нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей
  • Вакуумируемая прямоугольная камера объемом 15 литров и размерами 360 х 150 х 260 мм
  • Управление: компьютерное (на базе Windows) с промышленной интерфейсной шиной
  • Подвод технологического газа через контроллеры массового расхода, 2 газовых линии

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.