PCE-44-LD

  • Компактная установка ультрафиолетовой озоновой очистки для очистки всех типов кристаллических подложек
  • Назначение: процессы очистки подложек (Si, Ge, GaAs и все оксиды кристаллических подложек), удаления и вскрытия фоторезиста, улучшения гидрофильности поверхностей, очистки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, УФ-активации полимеров; очистка носителей, МЭМС; отверждение адгезионных покрытий; окисление полидиметилсилоксана; УФ-формирование рисунка на поверхности; травление; стерилизация поверхностей
  • Бескислотная, сухая, неразрушающая атомная очистка и удаление органических загрязнений за счет УФ-излучения с длиной волн 185 нм и 254 нм
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек, выдвижная панель размером 514” x 514” x 1”  
  • Процессная камера: габаритные размеры – 91/2” х 77/8” х 6”, вес – 4,1 кг
  • Размеры пьедестала из боросиликатного стекла: 4” x 4” x 34
  • Расстояние от ламп до: выдвижной панели – 11/16”, пьедестала – 5/16
  • Электропитание: 240В
  • Габариты: 15″ x 14″ x 12″
  • Вес: 5,9 кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.