OTF-1200X-II-PEC4

  • Поворачиваемая двухзонная установка плазмоактивированного гибридного физикохимического осаждения неорганических соединений из газовой фазы
  • Процессная камера из сверхчистой кварцевой трубы ø 4″ в рабочей части и фланцами из нержавеющей стали ø 1″ для присоединения вакуумного насоса, соединением для подключения газа или смеси газов
  • Вращение трубы реактора механическим приводом (2÷10 об/мин) позволяет проводить комбинирование различных типов осаждения для достижения лучшей однородности
  • Встроенный источник испарения (из лодочки с вольфрамовой спиралью позволяет испарять твердые реагенты для обеспечения гибридных процессов осаждения. Максимальная рабочая температура испарения 1300°C – на время не более 60 мин, 1200°C – для более длительного нагрева
  • Нагреватель реактора (208÷240В, 1ф, 2500Вт) обеспечивает максимальную рабочую температуру 1200°C – на время не более 60 мин, 1100°C – для более длительного нагрева
  • Два 30-ти позиционных температурных ПИД-контроллера обеспечивают точность поддержания температуры ± 1°C в двух зонах по 200 мм, общая длина зоны нагрева составляет 400 мм
  • Регулируемый в пределах 0~25°  наклон несущей рамы для облегчения загрузки-выгрузки подложек
  • Источник плазмы: встроенный RF-генератор 13,5 МГц, 5÷300Вт со схемой согласования; воздушное охлаждение; 208÷240В, 50/60Гц, 1ф
  • Четырехканальный блок смешивания газов (600 x 745 x 700 мм; 220В, 50/60Гц, 1ф) с компьютерным управлением и 6-ти цветным сенсорным монитором цифровыми регуляторами расхода газов на каждом канале
  • Высокопроизводительный двухступенчатый вакуумный масляный насос производительностью 132 л/мин (220В, 50/60Гц, 1ф, 400Вт) обеспечивает предельный уровень до 1 х 10-2 торр
  • Габариты: установка – 2800 x 800 x 1700 мм; блок смешивания газов – 600 x 850 x 700 мм
  • Вес: нетто – 182 кг, отгрузочный – 226,8 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.