Trymax NEO 3400 Series

  • Промышленная линия травления/сжигания материалов для крупносерийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 300 мм
  • Две или четыре процессных камеры
  • Загрузочные порты для трех или четырех SMIF-контейнеров с четырехосевой двухманипуляторной роботизированной загрузкой-разгрузкой и транспортером
  • Возможность использования четырех различных процессных модулей: микроволновой обработки (2,45 ГГц), ВЧ-обработки (13,56МГц), со сдвоенным источником (микроволновой и ВЧ-обработки), DCP (13,56МГц)
  • Превосходная однородность и воспроизводимость
  • Техническая производительность более 300 пластин в час
  • Промышленный компьютер с ОС на базе Windows, полностью цифровой контроллер
  • Компактное размещение

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.