Trymax Semiconductor

Trymax NEO 200 Series

  • Установка травления/сжигания материалов от НИОКР до серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)   
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
  • Полуавтоматическая загрузка по одной пластине (подложке)

далее


Trymax NEO 200A Series

  • Полностью автоматизированная однокамерная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
  • Двухкассетная платформа с трехосевой роботизированной загрузкой-разгрузкой по одной пластине (подложке)

далее


Trymax NEO 300 Series

  • Установка травления/сжигания материалов от НИОКР до серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 12”
  • Полуавтоматическая загрузка по одной пластине (подложке)

далее


Trymax NEO 300A Series

  • Полностью автоматизированная однокамерная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 12”
  • Загрузочный порт для одного SMIF-контейнера с трехосевой роботизированной загрузкой-разгрузкой

далее


Trymax NEO 2000 Series

  • Автоматизированная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров 4”, 6” и 8”
  • Загрузочные порты для трех или четырех кассет или двух SMIF-контейнеров с пятиосевой двухманипуляторной роботизированной загрузкой-разгрузкой со специализированной системой захвата пластин

далее


Trymax NEO 2400 Series

  • Автоматизированная установка травления/сжигания материалов для серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
  • Две или четыре процессных камеры

далее


Trymax NEO 3000 Series

  • Промышленная линия травления/сжигания материалов для крупносерийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 300 мм или 330 мм
  • Загрузочные порты для двух или трех SMIF-контейнеров с пятиосевой двухманипуляторной роботизированной загрузкой-разгрузкой

далее


Trymax NEO 3400 Series

  • Промышленная линия травления/сжигания материалов для крупносерийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)  
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 300 мм
  • Две или четыре процессных камеры

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.