Trymax NEO 200 Series

  • Установка травления/сжигания материалов от НИОКР до серийного производства
  • Применение: вскрытие объемных защитных покрытий, техпроцесс Descum, удаление полимера, скрытие окон после сильнодозовой ионной имплантации, травление нитридов кремния, изготовление МЭМС, процессы упаковки Backend (PR, PI, BCB, PBO)   
  • Подложки/пластины различных размеров вплоть до 8”
  • Полуавтоматическая загрузка по одной пластине (подложке)
  • Возможность использования четырех различных процессных модулей: микроволновой обработки (2,45 ГГц), ВЧ-обработки (13,56МГц), со сдвоенным источником (микроволновой и ВЧ-обработки), DCP (13,56МГц)
  • Превосходная однородность и воспроизводимость
  • Компьютер с ОС на базе Windows, полностью цифровой контроллер
  • Компактное размещение

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.