Lam Research LAM TCP 9400 SE(RIE/TCP)

  • Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, а также травление Si, SixNy, SiO2, полимеров, химически активных металлов
  • Процессная камера: из анодированного алюминия, температура стенок – 50°С; до 4
  • Загрузка в SMIF-контейнерах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø6”, ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Температура подложкодержателя: (-40÷80)°С
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1250/3000)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Зазор между электродами: 116 мм
  • Газовая система: до 8 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: HBr, Cl2, BCl3, NF3, CHF3, C2F6, C4F8, CF4, SF6, H2, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷30) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 208В, 80А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: установки – (1118×2013х1625) мм (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера)
  • Вес: установки – 999 кг (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.