LAM Research

Lam Research LAM VECTOR Express / Extreme  (PECVD)

  • Автоматическая установка плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы и плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: осаждение оксидов, нитридов, карбидов, не отражающих свет слоев, пассивирующих слоев, диффузионных барьеров, многоуровневых стековых пленок, разделительных пленок при производстве транзисторов, схем памяти, изготовлении межсоединений и пр.
  • До 4-х процессных камер (Express); до12-х процессных камер (Extreme)
  • Загрузка в FOUP-контейнерах

далее


Lam Research LAM 2300 Versys Kiyo (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, травление металлов, формирование узкощелевой изоляции и пр.
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Kiyo, Strip 45, Metal etcher, 2300 MWAVE STRPR
  • Загрузка в SMIF-контейнерах

далее


Lam Research LAM 2300 Versys Kiyo 45 (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, формирование узкощелевой изоляции, травление металлов  (Versys Kiyo 45 Metal) и пр. 
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Kiyo45 Etch, 2300 Micro Wave Strip, 2300 Kiyo45 Poly Etch, 2300 Versys Kiyo 45 Metal
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах

далее


Lam Research LAM 2300 Exelan FLEX / FLEX 45  (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: в зависимости от используемых процессных камер – травление поликремния, травление диэлектриков (в т.ч. оксидов), травление металлов  (Versys Kiyo (Metal)) и пр. 
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Exelan Flex 45, 2300 Exelan Flex, Versys Kiyo (Metal), Exelan Flex DD, Flex Е
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах

далее


Lam Research LAM 2300 Versys Metal (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: BEOL травление металлов; изготовление твердых металлических TiN фотошаблонов, формирование токопроводящих слоев из высокопротного алюминия, формирование алюминиевых столбиковых выводов и контактных площадок, травление меди и пр. 
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Metal Etch, Micro Wave Stripper,   Ash/Strip и др.
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах

далее


Lam Research LAM 2300 Versys Poly / Star T (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, травление диэлектриков
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Silicon, 2300 Versys Star Т, Flex, Micro Wave Stripper, Versys Si Star, 2300 Versys Star Poly Etch 
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо загрузка в в открытых кассетах

далее


Lam Research LAM 2300 Syndion TSV (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: сквозное травление поликремния для изготовления микросхем с трехмерной топологией; при добавлении соответствующих процессных камер возможны травление диэлектриков и проводящих материалов
  • До 4-х процессных камер 2300 Syndion
  • Три кассетные загрузочные станции

далее


Lam Research LAM TCP 9400 SE(RIE/TCP)

  • Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, а также травление Si, SixNy, SiO2, полимеров, химически активных металлов
  • Процессная камера: из анодированного алюминия, температура стенок – 50°С; до 4
  • Загрузка в SMIF-контейнерах

далее


Lam Research LAM Alliance A4 TCP 9400 DFM (ICP/CCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: камера 4520XL – травление диэлектриков (оксиды, нитриды), камера 9400DFM – травление поликремния и металлов (W, Al)
  • Процессная камера: до 4
  • Конфигурации процессных камер: 9400DFM; 4520XL

далее


Lam Research LAM Alliance A6 TCP 9400 DFM (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, травление металлов, озоление
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в открытых кассетах

далее


Lam Research LAM Alliance A6 Exelan HPT (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление оксидов, диэлектриков
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах

далее


Lam Research LAM Alliance A6 9400 PTX (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление канавок в кремнии, травление поликремния
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах

далее


Lam Research LAM Alliance A6 9600 PTX (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление металла (алюминий), зачистка металла
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах

далее


Lam Research LAM Alliance A6 9600 DFM (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление металла
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.