Lam Research LAM Alliance A6 TCP 9400 DFM (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка реактивно-ионного травления/травления трансформированно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, травление металлов, озоление
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø6”, ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ на процессную камеру
  • Применяемые газы: HBr, Cl2, BCl3, CHF3, CH2F2, C2F6, C4F6, C4F8, CF4, SF6, H2, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (3÷180) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Чиллер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 208В, 400А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.