Lam Research LAM Alliance A6 Exelan HPT (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление оксидов, диэлектриков
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷2500)Вт, 2 MГц; верхний электрод – (0÷2500)Вт, 27 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: CO, CHF3, CH3F, CH2F2, C4F6, C3F8, C4F8, CF4, H2, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷30) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллеры, скруббер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 208В, 25А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.