Lam Research LAM Alliance A6 9600 PTX (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление металла (алюминий), зачистка металла
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Конфигурации процессных камер: TCP 9600 PTX; Metal microwave stripper
  • Пластины: ø6”, ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники TCP плазмы: нижний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Микроволновой (MW) источник: (300÷3000)Вт, 2,45 ГГц 
  • Газовая система: до (8÷12) газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: HBr, HCl, Cl2, BCl3, NF3, SF6, CF4, CHF3, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов для TCP – (1÷30) л/ч, для MW – до 600 л/ч
  • Сверхчистая H2O
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллер/нагреватель
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Оборотная вода для охлаждения: 2,25 м3/ч, (2,8÷6,9) бар, (5÷35)°С
  • Очищенный сухой сжатый воздух: (5,5÷6,2) бар, до 10,4 м3
  • Электроэнергия: 208В, 400А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: центральный модуль – (1370×1320х2110) мм; модуль TCP – (1133×813х1984) мм; модуль MW – (574×597х1970) мм; (без вакуумных насосов, чиллера и т.д.)
  • Вес: центральный модуль – 727 кг; модуль TCP – 460 кг; модуль MW – 455 кг; (без вакуумных насосов, чиллера и т.д.)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.