Lam Research LAM Alliance A6 9600 DFM (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление металла
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Конфигурации процессных камер: DFM; MW
  • Пластины: ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники TCP плазмы: нижний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Микроволновой (MW) источник: (300÷3000)Вт, 2,45 ГГц 
  • Газовая система: до (8÷12) газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: Cl2, BCl3, SF6, CHF3, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов для TCP – (1÷30) л/ч, для MW – до 600 л/ч
  • Сверхчистая H2O
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: (200÷220)В, 400А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.