Lam Research LAM Alliance A6 9400 PTX (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление канавок в кремнии, травление поликремния
  • Процессная камера: до 4
  • Загрузка в в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Температура подложкодержателя: (-20÷90)°С
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1250)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: HBr, HCl, Cl2, BCl3, NF3, SF6, SO2, CF4, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷30) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллер/нагреватель, скруббер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 208В, 30А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.