Lam Research LAM Alliance A4 TCP 9400 DFM (ICP/CCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: камера 4520XL – травление диэлектриков (оксиды, нитриды), камера 9400DFM – травление поликремния и металлов (W, Al)
  • Процессная камера: до 4
  • Конфигурации процессных камер: 9400DFM; 4520XL
  • Загрузка в открытых кассетах
  • Две кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø8”
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: нижние электроды- (0÷1250)Вт, 2 MГц / (0÷2525)Вт, 2 MГц; верхние электроды – (0÷1185)Вт, 13,56 MГц / (0÷2200)Вт, 27 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 8 газовых линий с РРГ на процессную камеру
  • Применяемые газы: HBr, Cl2, NF3, SiCl4, CO, CHF3, CH3F, CH2F2, C4F8, CF4, SF6, Ar, O2, He, N2 и прочие
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Электроэнергия: 208В, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.