Lam Research LAM 2300 Versys Poly / Star T (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление поликремния, травление диэлектриков
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Silicon, 2300 Versys Star Т, Flex, Micro Wave Stripper, Versys Si Star, 2300 Versys Star Poly Etch 
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо загрузка в в открытых кассетах
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированные устройства загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø200мм (возможен вариант под ø300 мм)
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷1500)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷2000)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: HBr, Cl2, CO, NF3, SF6, C4F8, C4F6, CH2F2, CH3F, CHF3, CF4, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷30) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллеры, нагреватель, скруббер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы, подогрев форвакуумных линий
  • Очищенный сухой сжатый воздух: (5,9÷6,6) бар, до 7,2 м3
  • Электроэнергия: 208В, 320А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.