Lam Research LAM 2300 Versys Metal (RIE/TCP/MW)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: BEOL травление металлов; изготовление твердых металлических TiN фотошаблонов, формирование токопроводящих слоев из высокопротного алюминия, формирование алюминиевых столбиковых выводов и контактных площадок, травление меди и пр. 
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Versys Metal Etch, Micro Wave Stripper,   Ash/Strip и др.
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø300мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: RIE/TCP – нижний электрод – (0÷960)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷1500)Вт, 13,56 MГц; MW – (0÷3000)Вт, 2,45 ГГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ на каждый газовый шкаф
  • Применяемые газы: BCl3, Cl2, HCl, HBr, NF3, CHF3, CF4, CH4, SF6, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷180) л/ч
  • Сверхчистая H2O
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллеры, нагреватель
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: 208В, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.