Lam Research LAM 2300 Exelan FLEX / FLEX 45  (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: в зависимости от используемых процессных камер – травление поликремния, травление диэлектриков (в т.ч. оксидов), травление металлов  (Versys Kiyo (Metal)) и пр. 
  • До 4-х процессных камер. Варианты: 2300 Exelan Flex 45, 2300 Exelan Flex, Versys Kiyo (Metal), Exelan Flex DD, Flex Е
  • Варианты загрузки: в FOUP-контейнерах либо в SMIF-контейнерах
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Пластины: ø300мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: RIE/TCP – нижний электрод – (0÷5000)Вт, 2 MГц / (0÷3000)Вт, 27 MГц; нагреваемый верхний электрод – (0÷1500)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 / 16 газовых линий с РРГ на каждый газовый шкаф
  • Применяемые газы: HBr, CO, CO2, CH3F, CHF3, CH2F2, CF4, C2H4, C4F8, C4F6, SF6, Xe, H2, Ar, O2, He/O2, He, N2 и прочие (для Versys Kiyo (Metal) – дополнительно  BCl3, Cl2, NF3);расход процессных газов – (1,2÷180) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллеры, нагреватель, скруббер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы (1600 л/с), безмасляные форвакуумные насосы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: 208В, 550А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: центральный модуль – (2065×2970х2360) мм; модуль Flex – (1145×970х1957) мм; (без вакуумных насосов, чиллера и т.д.)
  • Вес: центральный модуль – 1860 кг; модуль Flex – 646 кг; (без вакуумных насосов, чиллера и т.д.)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.