Kokusai ElectricVertron III DD-803V

  • Автоматическая вертикальная атмосферная / с пониженным давленим диффузионная печь для групповой обработки
  • Назначение: оксидирование (атмосферное давление), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, высокотемпературное оксидирование при пониженном давлении (опция)
  • Варианты загрузки: в SMIF-контейнерах; кассетная загрузка в ручном или автоматическом режиме
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8″
  • Варианты объема загрузки: (100÷125) пластин / до 150 пластин
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: при атмосферном давлении – N2, Ar, H2, O2, N2O и прочие; при пониженном давлении – SiH2Cl2, N2, N2O, NH3
  • Сухой очищенных сжатый воздух
  • Применяемые химикаты: ТЭОС и прочие
  • Диапазон рабочих температур: атмосферное давление – (700÷1000)°C; пониженное давление – (500÷900)°C
  • Длина зоны с однороной температурой: 952,5 мм
  • Материал процессной камеры и лодочки – кварц
  • Система управления: компьютерная
  • Система управления температурой с термопарами
  • Нагреватель с 4-мя зонами нагрева
  • Система вращения лодочки
  • Вакуумная система Edwards BOC iQDP80 / IQMB500для варианта печи с пониженным давлением
  • Электроэнергия: постоянный ток – 24В; переменный ток – 280В, 1ф, 50Гц, 50кВА и 100В, 1ф, 50Гц, 5.5кВА

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.