Kokusai Electric Vertron DJ-803V

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь для нитридирования / Pyro (HCl) процессов при групповой обработке
  • Кассетная загрузка (пластиковые кассеты)
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø200мм
  • Количество пластин в партии: 100 шт
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Применяемые газы: нитридирование – SiH2Cl2, NH3, O2, N2 и прочие; Pyro (HCl) процессы – N2, Ar, H2, O2, HCl
  • Применяемые химикаты: DCE
  • Максимальная температура процесса: нитридирование – 850°C; Pyro (HCl) процессы -1050°C
  • Система управления: компьютерная
  • Система управления температурой с термопарами, расположенными между внешней и внутренней трубами
  • Нагреватель с 4-мя зонами нагрева
  • Система вращения лодочки
  • Система управления давлением

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.