Kokusai Electric QUIXACE (QUIXACE-L/L) DD-1206V-DF 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве динамических ОЗУ, микропроцессорных модулей и флеш-ПЗУ
  • Назначение: высокотемпературный отжиг, сверхвысокотемпературный отжиг (>1300°C) при производстве высококачественных кремниевых подложек для ликвидации линий скольжения в кристаллической структуре;
  • Диапазон рабочих температур: (150÷1350)°C
  • Система управления температурой, скоростью понижения / повышения температуры
  • Температурный контроль 5 внешними термопарами, 1 каскадной термопарой, 5 термопар, контролирующих перегрев
  • Возможность проведения процессов при атмосферном и пониженном (опция) давлении
  • Пластины: ø300мм (12”)
  • Загрузка в FOUP-контейнерах (QUIXACE-L/L)
  • Размер загрузки: от 50 до 125 пластин в партии
  • Нижняя загрузка 12” лодочки из SiC без контакта с процессной трубой
  • Высокоскоростная автоматическая система транспортировки пластин
  • Опционно: вакуумируемый загрузочный шлюз с азотной продувкой для проведения чувствительных к кислороду и влаге процессов
  • Газовая система: до 6 газовых линий с РРГ
  • Применяемые газы: 4%H2/Ar, Ar, N2, O2, HCl и прочие. Расход процессных газов – (30÷1800) л/ч
  • Управление с жидкокристаллического сенсорного монитора оператора

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.