Kokusai Electric Quixace II DJ-1206VN-DF Doped Poly 300 mm

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы легированного поликремния при пониженном давлении
  • Пластины: ø300мм (12”)
  • Загрузка-разгрузка в FOUP-контейнерах через 2 порта
  • Нижняя загрузка лодочки с системой вращения
  • Автоматическая система загрузки и транспортировки пластин
  • Материалы рабочей камеры: внешняя труба – кварц, внутренняя труба – кварц, сопла подачи газов – кварц
  • Система контроля содержания кислорода
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой
  • Температурный контроль: 5 термопар, контролирующих нагрев; 1 термопара, контролирующая перегрев; 5 термопар для защиты от перегрева; термопары для каскадного контроля и контроля профиля температуры
  • Модули очистки: до 4
  • Газовая система: до 16 газовых линий с РРГ, система подогрева ряда газовых линий и линий выхлопа
  • Применяемые газы: Si2H6, SiH4, 5%PH3/N2, 5%BCl3/He, 1%PH3/He, 1%O2/Ar, ClF3, N2 и прочие. Расход газов – (1,8÷1800) л/ч
  • Нагреватели газовых линий: 100В, 140/260Вт каждый
  • Сухой очищенных сжатый воздух
  • Система водяного охлаждения
  • Управление с жидкокристаллического сенсорного монитора оператора основным и вспомогательным контроллером
  • Вакуумная система: безмасляный вакуумный насос + механический бустерный насос; система управления давлением
  • Вытяжная вентиляция
  • Электроэнергия: 480В, 3ф, 50Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.