Kokusai Electric Quixace II DD-1206V-DF NITRIDE 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы нитридов при пониженном давлении
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой с комплектом термопар
  • Температура процесса: до 1050°C
  • Пластины: ø12”
  • Загрузка в FOUP-контейнерах
  • Размер загрузки: до 125 пластин в партии
  • Нижняя загрузка лодочки из SiC / кварца с системой вращения
  • Материалы рабочей камеры: внешняя труба – кварц, внутренняя труба – кварц / SiC, сопла подачи газов – кварц
  • Автоматическая система транспортировки пластин
  • Система контроля содержания кислорода
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ, система подогрева ряда газовых линий и линий выхлопа
  • Применяемые газы: SiH2Cl2, N2, NH3, N2O, 20%F2/N2, HF и прочие. Расход газов – (12÷3000) л/ч
  • Сухой очищенных сжатый воздух
  • Управление с жидкокристаллического сенсорного монитора оператора основным и вспомогательным контроллером
  • Вакуумная система: безмасляный вакуумный насос + механический бустерный насос; система управления давлением
  • Вытяжная вентиляция

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.